在多晶硅的生产过程中，盐类废水处理是一重要的环节。

在生产多晶硅的过程中，通常会产生大量的废气和残液。废气中主要含有大量的HCI、SiHCls、Cl2、SiCl、H、N等气体，而残液中主要含有氯化烷和微量硅粉。
由于氯硅烷极易容易水解，通常采用稀的氢氧化钠溶液淋洗氯硅烷残液和氯硅烷气体，还有少量的氯化氢，使氯硅烷和氯化氢全部水解中和，生成氯化钠和硅胶的混合物。硅胶在经过搅拌机搅拌后通过渣浆泵被送去压滤机进行固液分离操作，滤渣运送到渣场统一堆放。

分离出的硅胶经刮板机刮出后送入污泥收集池，之后再用潜水式污泥泵将沉底的硅胶打入到搅拌池内，经搅拌后被送入到压滤机在进行固液的分离。
去除掉硅胶的工业废水是盐类废水，这些废水一般呈酸性，酸碱度值大约为2。

废水经过酸碱中和，之后经蒸发，结晶，过滤把盐类提取出来。经过处理后的水会返回到生产中循环使用。

在盐类废水处理时常用薄膜蒸发器，三效蒸发器和四效蒸发器等设备用于盐类的蒸发浓缩，利用蒸发浓缩的原理，将废水中的水分蒸发掉，盐类中NaCl颗粒结晶析出，在经过过滤操作使废水和NaCl分离。蒸发出来的水蒸气外排掉或者经过冷凝回流到生产装置中实现循环利用。